플라즈마환경

플라즈마는 크게 플라즈마를 생성할 가스와 사용할 플라즈마의 종류에 따라 나눌수 있습니다.
가스로는 주로 산소계와 불소계로 나눌 수 있고, 종류로는 화학적 특성을 지닌 라디칼과 물리적 특성을 지닌 이온으로 나눌수 있습니다.
플라즈마 이온 및 라디칼은 O-RING에 영향을 미쳐 Etch 및Sealing 성능을 유지시킬 수 있는 다양한 재질을 제공하고 있습니다.