이노레스씰

PRODUCT

고온의 환경에 제품이 노출되었을 경우 Crack등이 발생할 수 있으며, 이는 Particle 및 Leak 문제로 이어질 수 있습니다.
TechRes® O-RING은 고온의 환경에서도 탄성력을 유지하며 제품의 성능을 유지할 수 있는 재질을 제공하고 있습니다.

TechRes® IP39	고온 프로세스에서의 안정적인 씰 유지력 / 반응성 GAS에 내화학성이 우수함 / 플라즈마 환경에서 뛰어난 저항성	Download
TechRes® IP88	고온에서 영구압축성이 가장 뛰어남 / 플라즈마 환경에서 파티클, 중량손실, 탈기체 최소화 등 플라즈마 저항성을 토대로 만들어져 Dry etching 및 LPCVD 공정에 적합	Download
TechRes® IP77	뛰어난 내열 저항성으로 고온의 환경에서 복원력 우수 / O2 플라즈마 공정에 우수한 특성이 장점	Download
TechRes® IP48	가혹한 환경과 특별한 상태에서 씰링 기능을 최적화 시키기 위한 제품	Download